burkert寶德熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001609結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

burkert寶德熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001609結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

8742型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*160nl/min,O?,鋁基座,G1/4寸,標(biāo)定壓力3bar,4-20mA

控制器| O2 | 16000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4- 20ma

傳感器設(shè)計(jì)：毛細(xì)管繞絲+雙元件補(bǔ)償

毛細(xì)管繞絲技術(shù)

多圈繞絲：加熱絲和溫度傳感器以螺旋狀纏繞在毛細(xì)管上，熱接觸面積增大30%，提升測(cè)量靈敏度。

熱隔離設(shè)計(jì)：傳感器與閥體通過(guò)陶瓷絕緣層隔離，避免熱傳導(dǎo)干擾。

雙傳感器補(bǔ)償

對(duì)稱(chēng)布局：兩個(gè)熱敏元件分別位于毛細(xì)管兩側(cè)，實(shí)時(shí)檢測(cè)環(huán)境溫度波動(dòng)。

動(dòng)態(tài)補(bǔ)償算法：通過(guò)微處理器計(jì)算溫差，消除環(huán)境熱輻射誤差（精度提升0.5%）

流量控制閥：壓電閥與電磁閥結(jié)合

壓電閥技術(shù)（適用于小流量）

無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)：壓電陶瓷片直接驅(qū)動(dòng)閥芯，響應(yīng)時(shí)間<8ms（比傳統(tǒng)電磁閥快5倍）。

零泄漏設(shè)計(jì)：閥座采用激光焊接工藝，確保氣密性（泄漏率<1×10?? mbar·L/s）。

電磁閥優(yōu)化（適用于大流量）

直動(dòng)式結(jié)構(gòu)：無(wú)需先導(dǎo)閥，壓力損失降低30%，適用于高壓氣體（如10bar N?）。

耐腐蝕材料：閥芯采用陶瓷涂層，耐受腐蝕性氣體（如Cl?、NH?）。

電子控制單元：模塊化與智能化

數(shù)字信號(hào)處理

24位ADC：采樣率1kHz，實(shí)時(shí)捕捉流量波動(dòng)。

自適應(yīng)算法：根據(jù)氣體類(lèi)型（如He、Ar）自動(dòng)調(diào)整溫度補(bǔ)償系數(shù)。

通信與診斷

多協(xié)議支持：集成Modbus RTU、PROFIBUS DP、EtherNet/IP，便于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)集成。

自診斷功能：

傳感器污染檢測(cè)：通過(guò)噪聲分析預(yù)測(cè)維護(hù)周期。

閥門(mén)健康監(jiān)測(cè)：記錄開(kāi)關(guān)次數(shù)，預(yù)測(cè)壽命（精度±10%）。

材料選擇與工藝

耐腐蝕設(shè)計(jì)

閥體材質(zhì)：316L不銹鋼（標(biāo)準(zhǔn)款）或PEEK塑料（超純應(yīng)用）。

密封技術(shù)：FFKM全氟橡膠密封圈，耐受200℃蒸汽滅菌和強(qiáng)酸（如H?SO?）。

焊接工藝

激光焊接：傳感器與閥體無(wú)縫連接，避免介質(zhì)泄漏。

電化學(xué)拋光：表面粗糙度Ra<0.4μm，符合EHEDG衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)（可選）。

典型應(yīng)用場(chǎng)景與選型建議

半導(dǎo)體制造

工藝氣體控制：如ALD（原子層沉積）中的前驅(qū)體氣體（如NH?）流量控制，需選耐腐蝕傳感器+壓電閥組合。

真空系統(tǒng)：氬氣（Ar）在離子注入工藝中的流量控制，需寬量程電磁閥（0-500 SCCM）。

生物醫(yī)藥

發(fā)酵罐通氣：氧氣（O?）和二氧化碳（CO?）的配比控制，需雙通道控制器+衛(wèi)生型接頭（符合ASME BPE）。

實(shí)驗(yàn)室分析

氣相色譜儀（GC）：載氣（如He）的恒流控制，需高精度壓電閥（精度±0.5% FS）。

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