burkert寶德熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001534相關(guān)介紹

burkert寶德熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001534相關(guān)介紹

8742型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*100nl/min,N?,鋁基座,G1/4寸,標(biāo)定壓力2bar,4-20mA

控制器| N2 | 10000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4- 20ma

熱式氣體質(zhì)量流量控制器（Thermal Mass Flow Controller, TMFC）是一種基于熱傳導(dǎo)原理實(shí)現(xiàn)氣體質(zhì)量流量精準(zhǔn)控制的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。其核心優(yōu)勢(shì)在于不依賴(lài)溫度和壓力變化，直接測(cè)量質(zhì)量流量。

工作原理

熱平衡原理

核心組件：

加熱絲：由鉑鎢合金制成，通電后產(chǎn)生恒定熱量。

溫度傳感器（如鉑電阻）：檢測(cè)加熱絲周?chē)鷾囟茸兓?/p>

流體通道：氣體流動(dòng)帶走加熱絲的熱量，導(dǎo)致溫度下降。

氣體流量越大，帶走的熱量越多，需增加功率維持溫度恒定。通過(guò)測(cè)量功率變化即可推算流量。

閉環(huán)控制

PID算法：實(shí)時(shí)比較設(shè)定流量與實(shí)際流量，調(diào)整閥門(mén)開(kāi)度（如電磁閥或壓電閥）。

響應(yīng)時(shí)間：<50ms（優(yōu)于壓差式流量計(jì)）。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

傳感器設(shè)計(jì)

毛細(xì)管繞絲：加熱絲和溫度傳感器纏繞在毛細(xì)管上，增大熱接觸面積。

雙元件補(bǔ)償：采用兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的傳感器，消除環(huán)境溫度干擾。

流量控制閥

電磁閥：適用于大流量范圍（如0-100 SLM）。

壓電閥：無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，響應(yīng)快（<10ms），適用于小流量（如0-10 SCCM）。

電子控制單元

微處理器：執(zhí)行PID計(jì)算、線(xiàn)性化修正和通信協(xié)議（如RS-485、Modbus）。

數(shù)字界面：支持本地顯示和遠(yuǎn)程監(jiān)控（如流量設(shè)定、報(bào)警輸出）。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高精度與穩(wěn)定性

精度：±1% FS（滿(mǎn)量程），重復(fù)性<0.2% FS。

溫壓補(bǔ)償：內(nèi)置壓力傳感器和溫度傳感器，自動(dòng)修正環(huán)境參數(shù)影響。

寬量程與多氣體兼容

量程范圍：覆蓋μSLM（微升/分鐘）至數(shù)百SLM（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）。

氣體兼容性：支持N?、Ar、O?等常見(jiàn)氣體，通過(guò)軟件校準(zhǔn)切換氣體類(lèi)型。

低維護(hù)性

無(wú)活動(dòng)部件（壓電閥除外），壽命>5年。

自診斷功能：監(jiān)測(cè)傳感器污染、閥門(mén)堵塞等故障。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造

工藝氣體控制：如CVD（化學(xué)氣相沉積）中的硅烷（SiH?）流量控制。

真空系統(tǒng)：監(jiān)測(cè)氬氣（Ar）在刻蝕工藝中的使用量。

化工與實(shí)驗(yàn)室

反應(yīng)釜進(jìn)氣控制：精確配比反應(yīng)氣體（如H?/O?）。

氣相色譜儀（GC）：作為載氣（如He、N?）的流量控制單元。

生物醫(yī)藥

發(fā)酵罐通氣控制：調(diào)節(jié)氧氣（O?）和二氧化碳（CO?）流量，優(yōu)化細(xì)胞培養(yǎng)環(huán)境。

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